전자현미경

Normal-SEM의 Module 소형화를 실현함으로써 최대 20만배까지 관찰할 수 있는
경제적인 Tabletop SEM입니다. 광학현미경보다 훨씬 높은 배율과 심도를
제공하며 EDS를 장착하면 미세영역의 성분 분석이 가능합니다.


 
 

CUBE-II

#Tabletop SEM, 고배율 전자현미경
#Resolution : 5nm(30kV, SE image)
#기본배율 : 10배~200,000배
#Detector : SE image, BSE(4ch)
#로딩시간 : 진공 90초, 해제 10초
#5축(3축 자동스테이지)
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G20

#Ion Sputter Coater
#금속(Au) 박막 코팅기
#Target Size : Dia.50mm
#Vacuum Pump : 100L/min
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EDS

#Energy Dispersive X-ray Spectrometer
#정성/정량분석, Mapping, Line Scan, Report
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